干式螺杆真空泵是一种先进的真空获得设备，通过两个相互啮合但不接触的螺杆转子在泵腔内同步反向旋转来产生真空。与传统油封式真空泵不同，干式螺杆真空泵无需工作液，能够提供洁净无污染的真空环境，因此在半导体、光伏、化工和制药等对洁净度要求很高的领域得到了广泛应用。
一、基本工作原理
干式螺杆真空泵是一种先 的真空获得设备，通过两个相互啮合但不接触的螺杆转子在泵腔内同步反向旋转来产生真空。与传统油封式真空泵不同，干式螺杆真空泵无需工作液，能够提供洁净无污染的真空环境，因此在半导体、光伏、化工和制药等对洁净度要求很高的领域得到了广泛应用。
二、主要技术特点
1、干式运行：无需任何工作液，避免了油蒸气污染，适合洁净环境
2、抽速范围宽：单级可实现10^5至10^-² Pa的宽范围真空
3、耐腐蚀设计：可采用特殊涂层和材料处理，适应腐蚀性气体环境
4、易于维护：结构相对简单，维护周期长，运行成本低
5、低振动低噪音：动态平衡良好的转子设计确保运行平稳
三、与传统真空泵的对比优势
| 对比维度 | 干式螺杆真空泵 | 油封式旋片泵 | 罗茨真空泵 |
| 洁净度 | 较高，无油污染 | 有油蒸气污染风险 | 较高，但可能有微量润滑剂 |
| 维护需求 | 低 | 高（需定期换油 | 中等 |
| 耐腐蚀性 | 可通过材料升级增强 | 较差 | 中等 |
| 极限真空 | 中高真空(10?² Pa) | 中真空(10?¹ Pa) | 需与前级泵组合使用 |
| 能耗效率 | 较高 | 较低 | 高 |
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